Main Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов. Т.1
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов. Т.1 cover

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов. Т.1

,
5.0 / 5.0
0 comments
Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес. В первом томе основное внимание обращается на анализ физико-химических основ ключевых технологических процессов микроэлектроники, таких как гетерогенное фазообразование, перераспределение вещества при термической и нетермической активации процессов, фотохимическое воздействие различных излучений, полей и др. Взаимосвязь этих процессов на протяжении всего технологического цикла изготовления интегральных схем устанавливается путем рассмотрения проблем межфазного взаимодействия в неравновесных микрогетерогенных системах, совместимости контактирующих материалов, анализа критериев, позволяющих прогнозировать физико-химический характер взаимодействия с использованием диаграмм фазовых равновесий. Для студентов, изучающих технологию микроэлектроники и радиотехнических микроэлектронных устройств, аспирантов [...]и специалистов. Представлены оглавление, предисловие и первый раздел книги
Request Code : ZLIB.IO18119532
Categories:
Year:
2022
Publisher:
БИНОМ. Лаборатория знаний City: М.
Language:
Russian
ISBN 10:
5996303353
ISBN 13:
9785996303359
ISBN:
9785996303359, 5996303353
Series:
Нанотехнологии. Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники. - 392 с.

Comments of this book

There are no comments yet.