Main Особенности получения наноструктурированных ионно-плазменных пленок с заданными свойствами: монография

Особенности получения наноструктурированных ионно-плазменных пленок с заданными свойствами: монография

,
5.0 / 5.0
0 comments
Представлены результаты исследований в области получения нано-структурированных пленок ионно-плазменными методами. Представлены результаты модернизации и автоматизации вакуумного оборудования, получения и исследований пленок ZrN, полученных электродуговым испарением и магнетронным распылением. Изучено влияние технологических и тепловых параметров на структуру, фазовый состав и свойства пленок ZrN. Предназначено для студентов и аспирантов, преподавателей, исследователей в области технологии получения износостойких покрытий.
Request Code : ZLIB.IO17423905
Categories:
Year:
2022
Language:
Russian

Comments of this book

There are no comments yet.