Main
Особенности получения наноструктурированных ионно-плазменных пленок с заданными свойствами: монография
Особенности получения наноструктурированных ионно-плазменных пленок с заданными свойствами: монография
Каменева А. Л., Клочков А. Ю.
5.0
/
5.0
0 comments
Представлены результаты исследований в области получения нано-структурированных пленок ионно-плазменными методами. Представлены результаты модернизации и автоматизации вакуумного оборудования, получения и исследований пленок ZrN, полученных электродуговым испарением и магнетронным распылением. Изучено влияние технологических и тепловых параметров на структуру, фазовый состав и свойства пленок ZrN. Предназначено для студентов и аспирантов, преподавателей, исследователей в области технологии получения износостойких покрытий.
Comments of this book
There are no comments yet.