Дефекты кристаллической структуры полупроводниковых материалов

В настоящем учебном пособии рассмотрены основные типы дефек- тов кристаллической решётки и их влияние на свойства полупроводни- кового кристалла. Полупроводниковый кристалл — основа микроэлектроники. Созда- ние полупроводниковых материалов со строго заданными параметрами электрических и оптических свойств — сложнейший технологический процесс. Малейшие отклонения от заданного состава полупроводнико- вого материала, как широко известно, приводят к неконтролируемому изменению его свойств. Менее широко известно, что практически такую же роль играет сте- пень дефектности полупроводникового кристалла, т. е. количество и ка- чество отклонений от идеальной кристаллической структуры, появляю- щихся в кристалле в процессе его роста под влиянием многочисленных внешних факторов: диффузионных ограничений, температурных флук- туаций, побочных химических реакций и т. д. Книга адресована студентам, специализирующимся по направле- ниям «Физическая химия», «Неорганическая химия», и может исполь- зоваться в качестве учебного пособия к курсу «Химия кристаллических полупроводников».