Main Процессы микро- и нанотехнологий: метод. пособие к курсу лекций

Процессы микро- и нанотехнологий: метод. пособие к курсу лекций

Name: Процессы микро- и нанотехнологий: метод. пособие к курсу лекций
Rating: 5.0 (4 reviews)

Гадиев Р.М.

5.0 / 5.0

0 comments

Данное учебное пособие предназначено для студентов физико-математического факультета, направлений подготовки: 210600 Нанотехнология; 210100 Электроника и наноэлектроника. Рекомендуется в качестве дополнительного материала к курсу лекций по дисциплине Процессы микро и нанотехнологий. Изучение данной дисциплины направлено на ознакомление с кругом актуальных задач современной электроники. В издании рассматриваются основные методы формирования топологии элементов микроэлектроники и нанесения металлических контактов

Request Code : ZLIBIO3492957

Categories:

Year:

2012

Publisher:

ЭБС Лань

Language:

Russian