Main Исследование рельефа поверхности полупроводниковой hemt-структуры методом атомно-силовой микроскопии: Практикум

Исследование рельефа поверхности полупроводниковой hemt-структуры методом атомно-силовой микроскопии: Практикум

Name: Исследование рельефа поверхности полупроводниковой hemt-структуры методом атомно-силовой микроскопии: Практикум
Rating: 5.0 (4 reviews)

Волкова Е. В., Забавичев И. Ю., Оболенский С. В.

5.0 / 5.0

0 comments

В пособии описаны физические принципы работы атомно-силового сканирующего зондового микроскопа. Изложена методика анализа топографии поверхности полупроводниковой структуры с использованием контактного способа измерений. Практикум предназначен для студентов дневного отделения магистратуры радиофизического факультета ННГУ в качестве пособия при подготовке и проведении лабораторных работ по специализированному курсу «Сканирующая зондовая микроскопия».

Request Code : ZLIBIO3430009

Categories:

Year:

2014

Publisher:

ЭБС Лань

Language:

Russian