Получение кремния при нейтронном облучении и термообработке

Обзорная информация, вып. 5 — М.: ЦНИИ экономики и информации цветной металлургии, 1980. — 39 с. — (Производство редких металлов).Легирование кремния фосфором под действием нейтронного облучения.Требования к удельному электрическому сопротивлению исходного материала.Поглощение нейтронов кремнием.Концентрация фосфора в кремнии при радиационном легировании.Взаимодействие нейтронов с атомами кристалла.Модели разупорядоченных областей.Изменение электрофизических свойств кремния под действием нейтронного облучения.Изменение концентрации носителей.Изменение рекомбинационных свойств.Восстановление свойств радиационно-легированного кремния в процессе отжига.Получение расчетного значения удельного электрического сопротивления.Влияние соотношения тепловых и быстрых нейтронов в потоке облучения на отжиг радиационных дефектов.Время жизни носителей.Период решетки кремния.Изменение спектров ИК-поглощения после облучения нейтронами и последующего отжига.Поглощение в области длин волн 2-4 мкм.Поглощение в области длин волн 7-14 мкм.Кремний, легированный бором.Кремний, содержащий углерод.Кремний, содержащий кислород.Ростовые структурные дефекты.Влияние структурных дефектов на характеристики приборов.Влияние структурных дефектов на свойства радиационно-легированного кремния.Выводы.Список литературы.