Исследование элементной структуры приповерхностного слоя материалов обработанных комбинированным облучением импульсными ионными пучками различной м

Литературный перевод. Research on materials surface layers element structure formation under combined treatment with pulsed ion beams of different powers. Elseiver. Surface & Coatings Technology 158–159 (2002) 170–173В настоящей работе представлены результаты для некоторых процессов происходящих на различных стадиях при создании покрытий с высокой адгезией и модифицированных слоев с использованием имплантации с большими дозами и глубоком диффузионном легировании различными элементами при импульсном энергетическом воздействии. Исследование выполнено на установке обеспечивающей возможность выполнения комбинированной обработки импульсными ионными пучками с плотностями энергии от 103 до 108 Вт/см2. Установка включала в себя ускоритель мощных ионных пучков и источник повторяющихся импульсных пучков ионов металлов и потока плазмы ионов металлов. Продемонстрирована возможность применения мощных ионных пучков для увеличения массопереноса и увеличения глубины легирования для предварительно имплантированной примеси. Результаты представлены относительно формирования высококачественных тонких покрытий с широким буферным слоем, определяющим адгезионную прочность с использованием комбинированной обработки с применением мощных ионных пучков.