Main Конспект лекций по дисциплине Лучевые и плазменные методы формирования наноструктур интегральной электроники
Конспект лекций по дисциплине Лучевые и плазменные методы формирования наноструктур интегральной электроники cover

Конспект лекций по дисциплине Лучевые и плазменные методы формирования наноструктур интегральной электроники

,
5.0 / 5.0
0 comments
Московский государственный институт электронной техники (технический университет), 2011, 84 с.Содержание:Применение фотонных потоков излучения в технологии микро- и наноэлектроникиРекристаллизация аморфных и поликристаллических кремниевых слоѐв лазерным излучениемТехнологические процессы с использованием плазмы при изготовлении изделий микро- и наноэлектроники Плазменные технологические процессы очистки и травления микро- и наноструктурВзаимодействие электронов с твѐрдым теломТепловое воздействие электронов на твѐрдое телоИонно-лучевая обработка в технологии микро- и наноэлектроникиИонное легирование полупроводников
Request Code : ZLIBIO1945225
Categories:
Year:
2022
Language:
Russian

Comments of this book

There are no comments yet.