Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения

Статья. Опубликована в ФІП ФИП PSE, 2006, т. 4, № 3 – 4, с.136-142Предложена модернизация вакуумно-дуговых установок, в том числе типа Булат и ННВ 6.6,для реализации метода плазменной ионной имплантации и осаждения (метод PBII&D). Процессы ионного азотирования изделий и последующего осаждения покрытий осуществляются при приложении к обрабатываемому изделию постоянного и высоковольтного импульсного потенциалов с различными частотами и амплитудами импульса. Модернизированная установкапригодна для модификации поверхности изделий из инструментальных и конструкционныхсталей, алюминиевых и медных сплавов. Осаждение покрытий на предварительно азотированную поверхность стальных изделий позволяет получать покрытия в диапазоне температуры подложки от 100 до 500 °С и обеспечивать дуплексную модификацию поверхности изделий.