Зондовые методы создания структур наноэлектроники

Учебное пособие по дисциплине «Зондовые методы создания структур наноэлектроники». — М.: МИЭТ, 2011. — 164 с. — ISBN 978-5-7256-0650-8Представлены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов.Разработано для основной образовательной программы подготовки бакалавров по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника», соответствующей тематическому направлению деятельности ННС «Наноэлектроника».Для студентов технических университетов, проходящих подготовку по специальности 073800 «Наноматериалы», 658300 «Нанотехнология» и 202000 «Нанотехнология в электронике», изучающих курс «Зондовые методы создания структур наноэлектроники» на уровне бакалавров.СодержаниеВведениеЛитератураЗондовая микроскопия и ее возможные примененияСканирующие зондовые микроскопыЗондовая микроскопия углеродных нанотрубокАтомная структура поверхности углеродных нанотрубокИсследование углеродных нанотрубок: размеры, формы, тонкая структураПерспективы зондовой нанотехнологииЛитератураТеоретическое и экспериментальное исследование процессов формирования наноразмерных структур с помощью проводящего зондаФизические эффекты в зондовой нанотехнологииКонтактное формирование нанорельефа поверхности подложекБесконтактное формирование нанорельефа поверхности подложекЛокальная «глубинная» модификация поверхности полупроводниковых подложекЛокальная электродинамическая модификация поверхности подложекМежэлектродный массоперенос с нанометровым разрешениемМодификация свойств среды в зазоре между проводящим зондом и подложкойЭлектрохимический массопереносМассоперенос с помощью газовой средыЛокальное анодное окислениеЛитератураЗондовые нанотехнологии создания элементной базы наноэлектроникиЗондовое формирование полимерных микропроводниковМетоды формирования металлических квазиодномерных микропроводников на подложкахСоздание элементов металлической наноэлектроникиНанотранзисторы и инверторы на основе углеродных нанотрубокМетод приготовления проводников на основе пучка углеродных нанотрубокЗондовые методы модификации углеродных нанотрубок на подложкахИсследование характеристик макетов нанотранзистора и инверторов на основе углеродных нанотрубокУглеродная наноэлектроникаЛокальное анодное окисление пиролитического графитаЛитератураЗаключение