Технология полупроводниковых материалов

Учебное пособие для повышения квалификации ИТР. — М.: Металлургия, 1987. — 336 с.Систематизирование изложены современные технологии важнейших полупроводниковых материалов. Рассмотрены подготовка основных и вспомогательных материалов, выращивание однородно легированных монокристаллов с совершенной структурой, получение высокочистых поликристаллических полупроводников, эпитаксиальных слоев, гомо- и гетероструктур методами газовой и жидкостной эпитаксии, изготовление пластин и подложек.Учебное пособие предназначено для повышения квалификации и переподготовки мастеров, начальников участков и цехов полупроводникового производства. Может быть полезна студентам вузов, обучающимся по специальностям: «Технология специальных материалов электронной техники», «Полупроводники и диэлектрики», «Полупроводниковые приборы».ОглавлениеПолупроводникиОбщие сведения о полупроводникахФизико-химические свойства важнейших Основные и вспомогательные материалы полупроводникового производстваЧистое веществоПодготовка основных материалов Подготовка вспомогательных материаловТехнология поликристаллических полупроводниковГерманийКремнийПолупроводниковые соединенияТехнология объемных монокристаллов полупроводниковМетоды выращивания монокристалловРаспределение примеси в процессах направленной Легирование и компоновкаПолучение однородно легированных Получение высокочистых монокристалловПолучение монокристаллов с совершенной структуройАппаратура для выращивания объемныхТехнология подложекПодготовка монокристаллов к резке на пластиныРезка монокристалловШлифовка пластинПолировка пластинМежоперационная и финишная очистка пластинКонтроль технологического процесса изготовления подложеки их качестваТехнология эпитаксиальных структурПолучение однослойных структур кремния и германия из газовой фазыПолучение эпитаксиальных структур полупроводниковых соединений