Main Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники

Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники

Name: Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники
Rating: 5.0 (4 reviews)

Достанко А.П., Аваков С.М., Агеев О.А., Батура М.П.;Бордусов С.В., Голосов Д.А., Джуплин В.Н., Завадский С.М., Клим О.В., Ланин В.Л., Мадвейко С.И., Мельников С.Н., Петухов И.Б., Ретюхин Г.Е., Русецкий А.М., Титко Д.С., Томаль В.С., Трапашко Г.А., Чередниченко Д.И., Школык С.Б.

5.0 / 5.0

0 comments

Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности под ложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокоча стотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.

Request Code : ZLIBIO1674795

Categories:

Year:

2016

Publisher:

Издательский дом "Белорусская наука"

Language:

Russian

Pages:

251

ISBN:

978-985-08-1993-2