Main Физические основы микро- и нанотехнологий

Физические основы микро- и нанотехнологий

Name: Физические основы микро- и нанотехнологий
Rating: 4.0 (4 reviews)

Бычков С.П.

4.0 / 5.0

0 comments

Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смеж- ных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехноло- гий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физичес- ких явлений, процессов и сред, являющихся основой этих техноло- гий. Приведены методы преобразования фундаментальных физичес- ких законов в прикладные технологические зависимости, расчеты фи- зических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий. Для студентов 3-го и 4-го курсов, обучающихся по специально- сти «Электронное машиностроение».

Request Code : ZLIBIO1654851

Categories:

Year:

2009

Publisher:

Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана

Language:

Russian

Pages:

176

ISBN:

978-5-7038-3319-3