Main Физические основы микроэлектроники. Учебник для студентов высших учебных заведений

Физические основы микроэлектроники. Учебник для студентов высших учебных заведений

Name: Физические основы микроэлектроники. Учебник для студентов высших учебных заведений
Rating: 5.0 (4 reviews)

В.И.Марголин, В.А.Жабрев, В.А.Тупик.

5.0 / 5.0

0 comments

Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии.Для студентов высших учебных заведений. скриншот страницы

Request Code : ZLIBIO1222815

Categories:

Year:

2008

Publisher:

Издательский центр «Академия»

Language:

Russian

Pages:

402

ISBN:

978-5-7695-4227-5