Main Основы анализа поверхности и тонких пленок

Основы анализа поверхности и тонких пленок

Name: Основы анализа поверхности и тонких пленок
Rating: 4.0 (4 reviews)
ISBN: 5-03-001017-3

Фелдман Л., Майер Д.

4.0 / 5.0

0 comments

Монография, написанная известными американскими специалистами в области атомных столкновений в твердых телах, посвящена физическим основам и методам использования пучков ионов, электронов н рентгеновского излучения для анализа структуры н состава тонких пленок вещества. Эти методы играют важную роль в развитии современной атомной технологии, особенно в области микроэлектроники. Все вопросы изложены на высоком научном уровне. Для специалистов, интересующихся проблемами анализа поверхности и тонких пленок, аспирантов и студентов.

Request Code : ZLIBIO1847

Categories:

Year:

1992

Publisher:

Мир

Language:

Russian

Pages:

342

ISBN 13:

5-03-001017-3