Main Вакуумно-плазменные процессы и технологии: Учебное пособие

Вакуумно-плазменные процессы и технологии: Учебное пособие

Name: Вакуумно-плазменные процессы и технологии: Учебное пособие
Rating: 5.0 (4 reviews)
ISBN: 5-9616-0155-2

Ефремов А.М., Светцов В.И., Рыбкин В.В.

5.0 / 5.0

0 comments

Рассмотрены процессы образования активных частиц в плазме и их взаимодействия с поверхностью твердого тела, а также технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов. Пособие предназначено для студентов специальности ''Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники'' и может быть полезно для студентов и аспирантов, специализирующихся по технологии микроэлектроники и в смежных областях

Request Code : ZLIBIO364201

Categories:

Year:

2006

Language:

Russian

Pages:

260

ISBN 13:

5-9616-0155-2

ISBN:

5-9616-0155-2