Main Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники

Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники

Name: Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники
Rating: 5.0 (4 reviews)

А.А.Сазонов

5.0 / 5.0

0 comments

В книге рассматриваются вопросы разработки систем управления основными технологическими процессами интегральных микросхем, в том числе вопросы моделировании и идентификации технологического оборудования, разработки информационно-измерительных систем, управляющих и исполнительных устройств, а также системы управления некоторых конкретных технологических процессов и технологического микроклимата.

Request Code : ZLIBIO706304

Categories:

Year:

1991

Publisher:

Высшая школа

Language:

Russian

Pages:

336