Main
Основы анализа поверхности и тонких пленок
Основы анализа поверхности и тонких пленок
Фелдман Л., Майер Д.
5.0
/
5.0
0 comments
Монография, написанная известными американскими специалистами в области атомных столкновений в твердых телах, посвящена физическим основам и методам использования пучков ионов, электронов и рентгеновского излучения для анализа структуры и состава тонких пленок вещества. Эти методы играют важную роль в развитии современной атомной технологии, особенно в области микроэлектроники. Все вопросы изложены на высоком научном уровне.
Comments of this book
There are no comments yet.