Main Вакуумно-плазменные процессы и технологии

Вакуумно-плазменные процессы и технологии

Name: Вакуумно-плазменные процессы и технологии
Rating: 4.0 (4 reviews)

Рыбкин В.В.

4.0 / 5.0

0 comments

Рассмотрены процессы образования активных частиц в плазме и их взаимодействия с поверхностью твердого тела, а так же технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов. Пособие предназначено для студентов специальности Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники и может быть полезно для студентов и аспирантов, специализирующихся по технологии микроэлектроники и в смежных областях.

Request Code : ZLIBIO2921315

Categories:

Year:

2022

Language:

Russian

Pages:

260